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半導體級過濾:海普折疊過濾膜如何保障電子特氣與超純水純度?

更新時間:2025-11-28 點擊量:138

在納米級別的芯片制造世界中,一顆比人類頭發(fā)絲細小數(shù)百倍的顆粒物,就足以導致整個電路短路,造成巨大的財務損失。因此,對電子特性和超純水 純度的追求,是半導體工廠的核心任務。折疊過濾膜正是在這些“生命線"工藝中守護純凈的關鍵屏障。

顆粒物影響芯片良率

氣體中的顆粒物:會導致晶圓表面產(chǎn)生缺陷,影響光刻、刻蝕和薄膜沉積的精度。

超純水中的顆粒物:在清洗環(huán)節(jié)若殘留顆粒,會直接附著在晶圓上,導致線路短路或開路。

半導體制造對雜質(zhì)控制達到了原子級別。海普折疊過濾膜在以下環(huán)節(jié)扮演著“凈化衛(wèi)士"的角色:

折疊過濾膜在半導體行業(yè)中的應用場景

1. 電子特氣過濾:從源頭杜絕污染

半導體制造需要使用上百種高純度、高價值的特種氣體。海普高性能折疊過濾膜被安裝在氣瓶出口、閥門和工藝工具入口等關鍵點:

 

高效去除顆粒物:能有效過濾掉0.01微米甚至更小尺寸的顆粒。

低析出、低釋氣:采用半導體級材料,確保自身不會向高純氣體中釋放金屬離子或有機污染物,避免二次污染。

能耐受腐蝕性、易燃易爆的特種氣體,保障生產(chǎn)安全。

 

2. 超純水系統(tǒng)終端拋光過濾

在經(jīng)過反滲透、EDI和紫外線殺菌后,超純水在進入工藝設備前,需要經(jīng)過一道“精雕細琢"。海普通量折疊濾芯在此環(huán)節(jié)至關重要:

深度去除水中殘留的膠體、硅顆粒和細菌尸體。

極低的溶出物:濾芯經(jīng)過嚴格的超純水清洗和包裝,確保其不會向水中釋放任何離子或有機物,保障水質(zhì)穩(wěn)定在18.2 MΩ.cm

高通量設計:滿足芯片廠連續(xù)、大量的用水需求。


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